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🦄九游娱乐 - 最全游戏有限公司所述卡盘中甩掉有晶圆;激光辐照禁受器-九游娱乐 - 最全游戏有限公司

发布日期:2024-06-16 06:31    点击次数:64

🦄九游娱乐 - 最全游戏有限公司所述卡盘中甩掉有晶圆;激光辐照禁受器-九游娱乐 - 最全游戏有限公司

本站音书,凭据企查查数据走漏晶书册成(688249)新赢得一项实用新式专利授权,专利名为“一种半导体芯片的清洁装配”,专利央求号为CN202322556447.4,授权日为2024年5月7日。

专利摘抄:本实用新式提供一种半导体芯片的清洁装配,包括:卡盘,设于机台上,所述卡盘中甩掉有晶圆;激光辐照禁受器,设于所述机台上,所述激光辐照禁受器朝向所述晶圆的后头;清洁组件,设于所述机台上,所述清洁组件朝向所述晶圆的后头;以及终结器,电性连气儿于所述机台、所述激光辐照禁受器以及所述清洁组件;其中,所述清洁组件包括移动机构与清洁机构,所述清洁机构设于所述移动机构上,所述移动机构带动所述清洁机构移动到所述晶圆的后头一侧。通过本实用新式公开的一种半导体芯片的清洁装配,粗略灵验对晶圆后头上的异物进行清洁。

本年以来晶书册成新赢得专利授权119个,较旧年同时增多了142.86%。齐集公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面过问了10.58亿元,同比增23.39%。

数据起首:企查查

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